[发明专利]非磁性物质分散型Fe‑Pt基溅射靶有效
| 申请号： | 201380035320.4 | 申请日： | 2013-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN104411862B | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 佐藤敦 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G11B5/851 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 王海川,穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种烧结体溅射靶，该烧结体溅射靶包含组成包含以分子数比计35～55％的Pt、余量为Fe的合金，和分散在该合金中的非磁性物质，其特征在于，至少含有SiO2作为非磁性物质，SiO2为非晶质，并且从靶中含有的氧量扣除非磁性物质的构成成分的氧而得到的残留氧量为0.07重量％以下。本发明的课题在于提供抑制SiO2向方英石的结晶化、溅射时产生的粉粒量少、并且具有包含SiO2的非磁性物质分散在Fe‑Pt基合金中的组织的烧结体溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 物质 分散 fe pt 溅射 | ||
【主权项】：
一种烧结体溅射靶，该烧结体溅射靶包含：组成包含以原子数比计35～55％的Pt、余量为Fe的合金，和分散在该合金中的非磁性物质，其特征在于，至少含有SiO2作为非磁性物质，SiO2为非晶质，并且从靶中含有的氧量扣除非磁性物质的构成成分的氧而得到的残留氧量为0.05重量％以下，靶中的非磁性物质的体积比率为10～55％。
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