[发明专利]使用真空吸盘固持晶片或晶片子堆叠

摘要

本文描述用于固持晶片或晶片子堆叠以便于进一步处理所述晶片子堆叠的技术。在一些实施中，晶片或晶片子堆叠由真空吸盘以可帮助减少所述晶片或晶片子堆叠的弯曲的方式固持。

主权项

一种使用复制工艺在晶片上形成特征的方法，所述方法包含：将晶片放置在真空吸盘上，其中所述晶片的面向所述真空吸盘的第一表面包括朝向所述真空吸盘凸出的特征，其中所述真空吸盘包括中心凹入表面，硅胶垫安置在所述中心凹入表面上，且其中所述真空吸盘在其凹入区域中包括透明窗以便于使用位于所述真空吸盘下方的显微镜观察所述晶片的底面；将压力施加到所述晶片的在所述晶片的一侧上的第二表面，所述侧与所述晶片的第一表面相对，以使得所述晶片在所述晶片的第一表面上的所述特征接触所述硅胶垫，且其中所述晶片的所述第一表面的靠近所述晶片周边的部分接触包括真空通道的所述真空吸盘的升高部分；使用所述真空通道产生真空以将晶片固持到所述真空吸盘；及随后使复制工具接触所述晶片的所述第二表面以使用复制工艺在所述晶片的所述第二表面上形成特征。