[发明专利]微波导入组件中的S参数取得方法和异常检测方法有效
| 申请号： | 201380036701.4 | 申请日： | 2013-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104472020B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 池田太郎;藤野丰;足立光;宫下大幸;长田勇辉;山本伸彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;C23C16/511;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体处理装置(1)包括处理容器(2)和具有多个微波导入组件(61)的微波导入装置(5)。向多个微波导入组件(61)中的每个导入微波，基于该微波和从处理容器(2)反射至多个微波导入组件(61)的反射微波，求取多个微波导入组件(61)的每个组合的S参数。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 导入 组件 中的 参数 取得 方法 异常 检测 | ||
【主权项】：
一种异常检测方法，是在等离子体处理装置中检测微波导入组件的异常方法，其特征在于：所述等离子体处理装置包括：收纳被处理体的处理容器；微波导入装置，其具有在所述处理容器内将用于生成等离子体的微波导入所述处理容器内的多个微波导入组件；和对所述处理容器内进行减压排气的排气装置，其中所述多个微波导入组件分别将所述微波导入所述处理容器内的不同位置，使所述处理容器内成为真空状态且没有生成所述等离子体的状态，对各个所述多个微波导入组件导入所述微波，在对各个所述多个微波导入组件导入所述微波时，通过所述多个微波导入组件中的一个微波导入组件导入微波至所述处理容器内，停止从其他微波导入组件导入微波的情况下，分别测定从所述一个微波导入组件导入的微波的电功率值和所有所述多个微波导入组件反射的反射微波的电功率值，基于测定的微波的电功率值和反射微波的电功率值，求取选自所述多个微波导入组件中的两个微波导入组件构成的组合各自的S参数，求得多个所述S参数的绝对值之间的差，基于该差检测所述异常。
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