[发明专利]磁性装置和光刻设备有效
| 申请号： | 201380037596.6 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104471485B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | F·A·布恩;O·M·J·费希尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种磁性装置，包括第一部分(FP)、第二部分(SP)、耦合到第一部分并且具有第一磁性极化的第一磁性部分(MP1)、耦合到第二部分并且具有第二磁性极化的第二磁性部分(MP2)以及耦合到第一部分并且具有额外的磁性极化的额外的磁性部分(AMP)，其中第一磁性部分和第二磁性部分被配置成与彼此相互作用，其中第一磁性部分将第一力施加在第二磁性部分上，第二磁性部分将第二力施加在第一磁性部分上，并且第一力和第二力具有平行于参考方向(RD)的相反方向，第一磁性极化基本上平行于参考方向，第二磁性极化基本上垂直于参考方向，额外的磁性极化与第一磁性极化成角度并且该角度具有在约90°至约270°的范围中的幅度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种磁性装置，包括：第一部分；第二部分；第一磁性部分，耦合到所述第一部分并且具有第一磁性极化；第二磁性部分，耦合到所述第二部分并且具有第二磁性极化；以及额外的磁性部分，耦合到所述第一部分并且具有额外的磁性极化；其中：所述第一磁性部分和所述第二磁性部分被配置成与彼此磁性相互作用，其中：所述第一磁性部分将第一力施加在所述第二磁性部分上；所述第二磁性部分将第二力施加在所述第一磁性部分上；以及所述第一力和所述第二力具有平行于参考方向的相反方向；所述第一磁性极化基本上平行于所述参考方向；所述第二磁性极化基本上垂直于所述参考方向；所述额外的磁性极化与所述第一磁性极化成角度；以及其中所述角度具有约180°的幅度。
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