[发明专利]照明装置、处理装置及器件制造方法有效
| 申请号： | 201380037678.0 | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN104471486B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 根岸武利;福井达雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 照明装置(IU)具有第1光源部(21a)；光的射出方向与第1光源部不同的第2光源部(21b)；和以使来自第1光源部的光和来自第2光源部的光的行进方向一致的方式使光的至少一部分偏转的偏转部(22)。第1光源部和第2光源部以使从各光源部射出并经由偏转部的光所射入的照明区域沿规定方向连续地排列的方式在规定方向上配置在不同位置。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 处理 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种照明装置，对直线状或圆弧状的狭缝形状的照明区域照射照明光，其特征在于，具有：第1光源部，其射出朝向第1方向的第1照明光；第2光源部，其射出朝向与所述第1方向不同的第2方向的第2照明光；和偏转部，其分别射入所述第1照明光和所述第2照明光，以使所述第1照明光和所述第2照明光的行进方向一致的方式使它们朝向所述照明区域偏转，并且以使所述第1照明光和所述第2照明光在所述照明区域的所述狭缝形状的长边方向上连续的方式射出所述第1照明光和所述第2照明光，所述第1光源部和所述第2光源部在所述长边方向上配置在不同位置，并且将所述照明区域分为沿着所述狭缝形状的长边方向的第1部分照明区域和第2部分照明区域时，所述第1照明光被设定为与所述第1部分照明区域对应的形状，所述第2照明光被设定为与所述第2部分照明区域对应的形状。
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