[发明专利]用于泵浦加工室的方法和设备

摘要

本发明涉及一种旨在连接加工室(2)的泵浦设备，它包括干式主真空泵(3)、安装成被该真空泵(3)上的止回阀(13)绕过的辅助泵浦装置(14)、连接到用于清洗该干式主真空泵(13)的装置(11)上并且旨在连接气源(14)的第一阀装置(5)、安装成被辅助泵浦装置(4)上游的止回阀(13)绕过的第二阀装置(6)以及控制装置，该控制装置构造成基于加工室(2)的工作状态控制该第一和第二阀装置(5，6)，以便当加工室(2)处于极限真空工作状态时使第一阀装置(5)至少部分地关闭并使第二阀装置(6)打开。本发明还涉及用于通过这种泵浦设备(1)泵浦加工室(2)的方法。

主权项

泵浦设备，该泵浦设备旨在连接至加工室(2)，该泵浦设备包括：‑干式主真空泵(3)，该干式主真空泵具有：入口(8)和出口(9)，布置在入口(8)和出口(9)之间的至少一个泵浦级(10a、10b、10c、10d、10e)，清洗装置(11)，该清洗装置配置成将清洗气体注入所述泵浦级(10a、10b、10c、10d、10e)中，连接至出口(9)的排气导管(12)，和布置在排气导管(12)中的止回阀(13)；‑喷射器(4b)，该喷射器安装在绕过该止回阀(13)的管线上，该喷射器(4b)包括：具有吸气孔(16)、排气孔(17)和至少一个进气喷嘴(18a、18b、18c)的导管(22)，和用于注射动力气体的装置，它用于控制动力气体向至少一个进气喷嘴(18a、18b、18c)中的注入；和‑第一含阀装置(5)，该第一含阀装置连接至该干式主真空泵(3)的清洗装置(11)，并且旨在与气体供应(14)连接，其特征在于，连接至清洗装置(11)的该第一含阀装置(5)还与该用于注射动力气体的装置相连，并且配置成至少部分地切换从干式主真空泵(3)的清洗装置(11)到该喷射器(4b)的用于注射动力气体的装置的气体供应(14)。