[发明专利]离子束突波恢复用的射束线电极电压调变无效
| 申请号： | 201380038609.1 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104508790A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 皮尔·卢比克;克里斯多夫·里维特;提摩太·米勒;具本雄 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/24;H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 陶敏,臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种离子植入系统和方法，其中通过在植入机中使用已调变电源系统(230)，来最小化电压中的突波。已调变电源系统包括传统电源(300)以及与各电源相连的控制单元(310)，其中控制单元用于在检测到突波或电弧时通过源开关(321)使电源与电极绝缘，且通过闭合放电开关(331)使得电极上的任何电荷快速消散至接地。随后在突波情况被改善之后，控制单元使电源与电极之间的连接恢复。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束突波恢复用的射束线电极电压调变 | ||
【主权项】：
一种离子植入系统，包括：离子源；电极，所述电极保持与地电位不同的电压；以及与所述电极连通的已调变电源系统，其中所述已调制电源系统包括：具有第一端子和第二端子的电源；源开关，所述源开关具有电性连接到所述电源的所述第二端子的第一端子以及电性连接到所述电极的第二端子；放电开关，所述放电开关具有电性接地的第一端子以及电性连接到所述电极的第二端子；以及控制单元，所述控制单元经配置以在检测到突波之后致动所述源开关和所述放电开关。
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