[发明专利]静电容量型传感器、声音传感器及传声器有效
| 申请号： | 201380038997.3 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN104488290B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 内田雄喜;笠井隆 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B3/00;H01L29/84;H04R1/02;H04R3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在硅基板(12)的上方配置有用狭缝(17)分割开的隔膜(13a、13b)。在基板(12)的上面设置有背板(18)，将隔膜(13a、13b)覆盖，在其下面，与隔膜(13a、13b)相对配置有固定电极板(19)。固定电极板(19)被分离成两个区域成为第一固定电极板(19a)和第二固定电极板(19b)。在第一固定电极板(19a)和第二固定电极板(19b)之间，设置有势垒电极(34)，将两固定电极板(19a、19b)分隔开。在背板(18)及固定电极板(19a、19b)上，开设有多个声孔(24)。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 容量 传感器 声音 传声器 | ||
【主权项】：
1.一种静电容量型传感器，其特征在于，具备：基板；振动电极板，其形成于所述基板的上方；背板，其以覆盖所述振动电极板的方式形成于所述基板的上方；固定电极板，其以与所述振动电极板相对的方式设置于所述背板；传感部，其由所述振动电极板和所述固定电极板构成，所述振动电极板和所述固定电极板中的至少一方被分离成多个区域，该传感部分别形成在每个被分离的各区域；势垒电极，其设置于多个所述传感部中邻接的至少一对所述传感部彼此之间，用于防止所述传感部间的信号的干扰。
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