[发明专利]干涉型距离测量装置以及相应的方法

摘要

本发明涉及一种用于测量表面的干涉型距离测量装置，所述干涉型距离测量装置具有：能够被调谐的至少一个激光源，所述激光源具有相干长度，用于产生被波长斜坡调制的测量辐射；光路，所述光路具有用于向表面发射测量辐射的光学传导系统以及用于捕捉由表面反向散射的测量辐射的光学捕捉系统，所述光学捕捉系统包括测量臂以及参考臂；以及辐射探测器和评估单元，用于确定从所述距离测量装置的参考点到所述表面的距离。由至少一个分光器限定用于并行发射测量辐射的n≥2条通道，为所述通道分别分配由相干长度限定的测量范围的一个不同子域。

主权项

1.一种用于测量表面(4)的干涉型距离测量装置，所述干涉型距离测量装置至少包括：‑具有相干长度的可调激光源(1)，所述激光源用于产生采用波长斜坡调制的测量辐射(MS)，其中，所述激光源(1)的所述相干长度限定测量范围，‑光路，所述光路具有：°发送用光学单元，所述发送用光学单元用于向所述表面(4)上发射所述测量辐射(MS)；°接收用光学单元，所述接收用光学单元用于接收从所述表面反向散射的所述测量辐射(MS)；°由测量臂和参考臂构成的干涉仪，‑辐射探测器以及被设计为以干涉方式确定从所述距离测量装置的参考点到所述表面(4)的距离的评估单元，其特征在于：借助于至少一个分光器(20，25)限定了用于并行发射测量辐射(MS)的n≥2条通道，所述通道均被分配了由所述相干长度限定的所述测量范围的不同子范围。