[发明专利]气体分离器有效
| 申请号： | 201380039230.2 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104508177B | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 约阿希姆·迈;丹尼尔·德克尔;斯特凡·黑尔比希;奥利弗·勒韦尔 | 申请（专利权）人： | 霍赫劳股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 李楠,安翔 |
| 地址： | 德国霍恩施泰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了一种用于在真空涂覆设备中的气体运动的装置(1)，该装置将在涂覆室中没有沉积到待涂覆的基底(3)上的气态的涂覆材料抽走。在此，用于抽走涂覆材料的至少一个泵以抽走装置的轴向延长部(112)的形式与该抽走装置联接，其中，抽走装置具有一个或多个抽吸开口(121)并且被划分成至少两个轴向区域，这两个区域的抽走特征能很大程度地彼此分开地进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分离器 | ||
【主权项】：
一种用于在真空涂覆设备中的气体运动的装置，所述装置具有‑至少一个涂覆室，所述涂覆室具有至少一个涂覆区域，‑传输装置，所述传输装置用于在传输方向上将平面的基底传输到所述涂覆室中，并且用于在所述涂覆室中保持所述基底，‑针对每个涂覆区域至少一个涂覆装置，所述涂覆装置放出气态的涂覆材料，其中，所述涂覆装置的长度至少相应于所述基底的宽度，‑针对每个涂覆区域至少一个抽走装置，其中，所述抽走装置基本上平行于所述涂覆装置延伸并且至少具有所述涂覆装置的长度，至少与泵联接，所述泵适合用于在所述抽走装置内部相对于所述涂覆室的内部压力生成低压，其特征在于，‑所述至少一个泵以所述抽走装置的轴向延长部的形式与所述抽走装置联接，‑所述抽走装置具有一个或多个抽吸开口，‑所述抽走装置具有至少两个轴向的区域，所述区域的抽走特征能彼此分开地进行调整。
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