[发明专利]靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201380039352.1 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN104508173A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 坂卷功一;福冈淳;畠知之;齐藤和也 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/00;B22F3/14;B22F3/15;C22C1/04;C22C19/07;C22C33/02;C22C38/00;G11B5/851 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种靶材，其中，原子比的组成式表示为(FeX-Co100-X)100-Y-MY(M表示选自Ta和Nb中的至少一种元素，X、Y分别满足0≤X≤80、10≤Y≤30)，包含由不可避免的杂质构成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变为0.33％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材，其中，原子比的组成式表示为(FeX‑Co100‑X)100‑Y‑MY，包含由不可避免的杂质构成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变为0.33％以上，所述组成式中，M表示选自Ta和Nb中的至少一种元素，X、Y分别满足0≤X≤80、10≤Y≤30。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日立金属株式会社，未经日立金属株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380039352.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：裂隙水处理方法和系统
- 下一篇：铝合金箔及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
