[发明专利]双轴式扫描镜

摘要

本发明公开了一种光学装置(64)，该光学装置包括定子组件(47)，该定子组件包括包含气隙的芯(78、90、91)和一个或多个线圈(80、92、94、116、120)，该一个或多个线圈包括导线，该一个或多个线圈卷绕在芯上以使芯响应于导线中流动的电流而形成穿过气隙的磁路。扫描镜组件(45、83、85、130)包括支撑结构(68)、被安装成相对于支撑结构围绕第一轴线旋转的基部(72)以及被安装成相对于基部围绕第二轴线旋转的镜(46)。至少一个转子(76、132)包括一个或多个永磁体，该一个或多个永磁体固定到扫描镜组件并定位在气隙中以响应于磁路而移动。驱动器(82)被耦合成在一个或多个线圈中生成电流。

主权项

光学装置，包括：定子组件，所述定子组件包括：芯，所述芯包括一对极片，从而限定气隙、并且所述芯包括齿状物，所述齿状物在所述极片之间突起并具有邻接且包含所述气隙的上端；以及包括导线的一个或多个线圈，所述一个或多个线圈卷绕在所述芯上以使所述芯响应于所述导线中流动的电流而形成穿过所述气隙的磁路；扫描镜组件，所述扫描镜组件包括：支撑结构；基部，所述基部被安装成相对于所述支撑结构围绕第一轴线旋转；以及镜，所述镜被安装成相对于所述基部围绕第二轴线旋转；至少一个转子，所述至少一个转子包括一个或多个永磁体，所述一个或多个永磁体固定到所述扫描镜组件并定位在所述气隙中以便响应于所述磁路而移动；以及驱动器，所述驱动器被耦合成以所选择的一个或多个频率在所述一个或多个线圈中生成所述电流，使得所述至少一个转子的运动响应于所述磁路而使所述基部以第一频率围绕所述第一轴线旋转，同时使所述镜以第二频率围绕所述第二轴线旋转。