[发明专利]加工对象物切断方法

摘要

该加工对象物切断方法具备如下工序：以单晶蓝宝石基板(31)的背面(31b)作为基板(31)中的激光(L)的入射面，将激光(L)的聚光点(P)对准于基板(31)内，使聚光点(P)沿着与基板(31)的m面和背面(31b)平行的各条切断预定线(52)相对地移动，由此沿着各线(52)在基板(31)内形成改质区域(72)，并且使龟裂(82)到达表面(31a)。在该工序中，在以从将聚光点(P)对准的位置至表面(31a)为止的容许最小距离为e、表面(31a)的龟裂(82)的蛇行量为m的情况下，满足t-[(d/2)-m]/tanα<Z<t-e。

主权项

一种加工对象物切断方法，其特征在于，是用于将加工对象物切断成各个发光元件部来制造多个发光元件的加工对象物切断方法，所述加工对象物具备具有与c面形成达偏角的角度的表面和背面的单晶蓝宝石基板、以及在所述表面上包含矩阵状排列的多个发光元件部的元件层，具备：第1工序，其以所述背面作为所述单晶蓝宝石基板中的激光的入射面，将所述激光的聚光点对准于所述单晶蓝宝石基板内，使所述聚光点沿着以与所述单晶蓝宝石基板的m面和所述背面平行的方式设定的多条第1切断预定线的各条相对地移动，由此沿着各条所述第1切断预定线在所述单晶蓝宝石基板内形成第1改质区域，并且使从所述第1改质区域产生的第1龟裂到达所述表面；以及第2工序，其在所述第1工序之后，沿着各条所述第1切断预定线使外力作用于所述加工对象物，由此使所述第1龟裂伸展，并沿着各条所述第1切断预定线切断所述加工对象物，在所述第1工序中，在以从将所述聚光点对准的位置至所述表面为止的容许最小距离为e、所述单晶蓝宝石基板的厚度为t，从所述背面至将所述聚光点对准的位置为止的距离为Z，在相邻接的所述发光元件部间在与所述m面平行的方向上延伸的格线区域的宽度为d、所述表面中的所述第1龟裂的蛇行量为m、与所述背面垂直的方向与所述第1龟裂伸展的方向所形成的角度为α的情况下，以满足t‑[(d/2)‑m]/tanα<Z<t‑e的方式，以所述背面作为所述入射面，将所述聚光点对准于所述单晶蓝宝石基板内，使所述聚光点沿着各条所述第1切断预定线相对地移动。