[发明专利]具有单色F‑θ物镜的无色扫描装置

摘要

一种无色扫描装置，其中该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)采用某个设计方案及相对布置方案，使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言，该上游光学扫描器件的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对一第一射束分量(1.1.1)的第一物镜平面(OEpostλ1)叠合，该上游光学扫描器件的第二影像平面(BEpreλ2)与该下游光学扫描器件的针对一第二射束分量(1.1.2)的第二物镜平面(OEpostλ2)叠合，其中，该下游光学扫描器件的该第一物镜平面(OEpostλ1)及该下游光学扫描器件的该第二物镜平面(OEpostλ2)分配有该下游光学扫描器件的一位于该目标表面(5)上的影像平面(BEpost)。

主权项

一种无色扫描装置，其具有一光源(1)，一包含一旋转式多角形棱柱面镜(3.1)且具一多角形角度(Wp)的扫描单元(3)、一布置于该多角形棱柱面镜(3.1)上游的上游光学扫描器件(2)以及一布置于该多角形棱柱面镜(3.1)下游的下游光学扫描器件(4)，该上游光学扫描器件用于成型一由该光源(1)所发射的光束(1.1)并将其导引至该多角形棱柱面镜(3.1)，其中该光束(1.1)具有一包含第一波长(λ1)的第一射束分量(1.1.1)及一包含第二波长(λ2)的第二射束分量(1.1.2)，该下游光学扫描器件由一F‑θ物镜构成，该F‑θ物镜用于成型被该多角形棱柱面镜(3.1)沿扫描方向(R)所偏转的光束(1.1)并将其导引至一目标表面(5)，该目标表面是针对该二射束分量(1.1.1)、(1.1.2)布置在该下游光学扫描器件的一影像平面(BEpost)内，其中，该下游光学扫描器件(4)采用单色方案，也即只对具一波长的一光束成像到一理想的影像位置，且该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)设计成使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言，该上游光学扫描器件在一第一像侧交点距离(s'preλ1)处的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对该第一射束分量(1.1.1)的第一物镜平面(OE postλ1)叠合，该上游光学扫描器件在一第二像侧交点距离(s'preλ2)处的一个第二影像平面(BEpreλ2)与该下游光学扫描器件的针对该第二射束分量(1.1.2)的一个第二物镜平面(OEpostλ2)叠合，其中，该下游光学扫描器件的影像平面(BEpost)和该下游光学扫描器件的该第一物镜平面(OEpostλ1)及该下游光学扫描器件的该第二物镜平面(OEpostλ2)共轭，从而针对该二射束分量(1.1.1)、(1.1.2)而校正纵向色差，其特征在于，该下游光学扫描器件(4)具有一针对该第一射束分量1.1.1的第一像侧焦距(f'postλ1)，且具有一针对该第二射束分量1.1.2的第二像侧焦距(f'postλ2)，该第一及第二像侧焦距满足以下等式：2f`postλ1Wp+f`postλ1Ws1(Wp；s`preλ1)＝2f`postλ2Wp+f`postλ2Ws2(Wp；s`preλ2),其中，Ws1为该第一射束分量(1.1.1)的角向分量，Ws2为该第二射束分量(1.1.2)的角向分量，且tan(Ws1)≈Sw/2×sin(Wp)/s'preλ1且tan(Ws2)≈Sw/2×sin(Wp)/s'preλ2，其中Sw为多角形棱柱面镜(3.1)的基本宽度，从而同样针对该二射束分量(1.1.1)、(1.1.2)而校正横向色差。