[发明专利]用于探针卡的导板和设置有导板的探针卡有效
| 申请号： | 201380040382.4 | 申请日： | 2013-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104508499B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 木村哲平;樊利文 | 申请（专利权）人： | 日本电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 【目的】本发明的目的是提供一种用于探针防护件的导板，其设置有以紧密节距间隔布置的微细通孔并能够获得改进的强度。【构造】用于探针防护件的导板(100)设置有金属基底(110)；第一绝缘层(120)；以及金属层(130)。金属基底(110)包括多个通孔(111)，探针能够通过该通孔插入；和通孔(111)的内壁面。第一绝缘层(120)具有筒状，并且设置于金属基底(110)中的通孔(111)的内壁面。金属层(130)设置在第一绝缘层(120)上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 探针 防护 导板 设置 | ||
【主权项】：
一种制造用于探针卡的导板的方法，所述方法包括：在多个柱的各个外表面上形成第一镀层；在各个第一镀层上形成绝缘膜；形成第二镀层，使得所述柱、所述第一镀层以及所述绝缘膜嵌入在所述第二镀层中；以及去除所述柱，使得所述第二镀层在所述柱被去除的位置处具有通孔。
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