[发明专利]表面增强拉曼散射元件有效
申请号: | 201380041034.9 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN104508468B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 丸山芳弘;柴山胜己;伊藤将师;广畑彻;龟井宏记 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;B82Y15/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | SERS元件(3)包括基板(4);细微结构部(7),其形成于基板(4)的表面(4a),且具有多个柱(11);及导电体层(6),其形成于细微结构部(7)上,且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部(10)。导电体层(6)具有以沿着基板(4)的表面(4a)的方式形成的基底部、及在与各柱(11)对应的位置自基底部突出的多个突出部。在导电体层(6),通过基底部与突出部,形成有与柱(11)突出的方向垂直的方向上的间隔递减的多个间隙(G)。 | ||
搜索关键词: | 表面 增强 散射 元件 | ||
【主权项】:
一种表面增强拉曼散射元件,其特征在于,包括:基板,其具有主面;细微结构部,其形成于所述主面上,且具有多个凸部;及导电体层,其形成于所述细微结构部上,且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部,所述导电体层具有以沿着所述主面的方式形成的基底部、及在与所述凸部的各个对应的位置自所述基底部突出的多个突出部,在所述导电体层,由所述基底部与所述突出部,形成有与所述凸部突出的方向垂直的方向上的间隔递减的多个间隙,所述凸部突出的方向上的所述间隙的深度为所述基底部的厚度以下,所述突出部的所述基板侧的端部较所述基底部的上表面更进入所述基板侧。
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