[发明专利]用于制造具有POD护套玻璃层的、光学的预成型件的方法

摘要

说明一种用于制造光学的预成型件的等离子体沉积过程，所述光学的预成型件的突出之处在于以较高的氟掺杂以及在轴向上并且在径向上预先给定的、在最简单的情况中尽可能均匀的掺杂材料分布的、具有非圆整的内部横截面的护套玻璃层。为此提出一种双阶段的方法，其中首先将具有非圆整的横截面的基片本体改变为经过涂覆的、具有圆形的横截面的基片本体，方法是使由具有氟标称浓度的石英玻璃构成的POD填充层沉积到现存的填充面上并且对其进行外圆磨削，并且随后在第二方法阶段中使横截面为圆环形的、由氟掺杂的石英玻璃构成的POD包覆玻璃层沉积。

主权项

用于制造具有由用氟掺杂的石英玻璃构成的POD护套玻璃层的、光学的预成型件（50）的方法，方法是：借助于等离子体燃烧器（6）在有氟的情况下形成SiO2颗粒，这些SiO2颗粒沉积在柱形的并且具有纵轴线的基片本体（2）的柱体侧面上并且直接玻璃化，其中所述基片本体（2）沿着其纵轴线（4）的方向看具有非圆形的横截面，其中在包络圆（48）的支点（43）之间延伸着至少一个没有弯曲或者具有与包络圆弯曲度不同的弯曲度的表面区段（42），其特征在于，所述POD护套玻璃层的制造包括以下方法步骤：（a）在构成经过涂覆的、具有圆形的横截面的基片本体（51）的情况下，在所述表面区段（42）上由具有氟标称浓度的石英玻璃来制造POD填充层（47），所述圆形的横截面具有至少与所述包络圆（48）的半径一样大的半径；并且（b）使在横截面中为圆环形的、由氟掺杂的石英玻璃构成的POD包覆玻璃层（49）在所述经过涂覆的基片本体（51）上沉积，其中，POD是等离子外部沉积。