[发明专利]耐热复合材料的制造方法及制造装置

摘要

在将碳化硅浸渍于陶瓷纤维预制体的耐热复合材料的制造中，兼顾碳化硅的制膜的生长速度与包埋均一性。通过化学气相沉积法或化学气相浸渍法将碳化硅沉积于反应炉11所容纳的预制体100进行制膜，通过加入供给于反应炉11的原料气体及运载气体的添加气体的添加量来控制制膜的生长速度与包埋均一性。在制膜遵从一级反应的情况下，通过添加气体的添加量来控制制膜种的附着概率，在制膜遵从朗谬尔-欣谢伍德型速度式的情况下，通过添加气体的添加量进行控制，使得利用朗谬尔-欣谢伍德型速度式的零级反应区。

主权项

一种耐热复合材料的制造方法，其特征在于，使用化学气相沉积法或化学气相浸渍法，将具有微细结构的基材容纳于反应炉并流动原料气体及运载气体，使碳化硅沉积于所述基材进行制膜，在所述原料气体及运载气体中加入添加气体，通过该添加气体的添加量来控制所述碳化硅的制膜的生长速度及包埋均一性。