[发明专利]连结型真空处理工具和使用该工具的方法

摘要

在一些实施方式中，提供一种连结型处理工具系统，该连结型处理工具系统包括(1)第一处理工具，该第一处理工具具有经设置以耦接至多个处理腔室的至少一第一移送室；(2)第二处理工具，该第二处理工具具有经设置以耦接至多个处理腔室的至少一第二移送室；(3)第三移送室，该第三移送室耦接在第一处理工具与第二处理工具之间，且经设置以在第一处理工具与第二处理工具之间移送基板；和(4)单一序列器，该序列器控制连结型处理工具系统的第一处理工具、第二处理工具与第三移送室之间的基板移送操作。本文提供了许多其他态样。

主权项

一种连结型处理工具系统，所述连结型处理工具系统包括：第一处理工具，所述第一处理工具具有经设置以耦接至多个处理腔室的至少一第一移送室；第二处理工具，所述第二处理工具具有经设置以耦接至多个处理腔室的至少一第二移送室；第三移送室，所述第三移送室耦接在所述第一处理工具与所述第二处理工具之间且经设置在所述第一处理工具与所述第二处理工具之间移送基板；第一通路，所述第一通路将所述第一处理工具的所述第一移送室直接耦接至所述第三移送室；第二通路，所述第二通路将所述第二处理工具的所述第二移送室直接耦接至所述第三移送室；第三通路，所述第三通路将所述第一处理工具的所述第一移送室直接耦接至所述第二处理工具的所述第二移送室，所述通路绕开所述第三移送室；和单一序列器，所述序列器控制在所述连结型处理工具系统的所述第一处理工具、所述第二处理工具与所述第三移送室之间的基板移送操作。