[发明专利]电子显微镜及电子射线检测器有效
| 申请号： | 201380043429.2 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN104584182B | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 今村伸;大岛卓;小濑洋一;平根贤一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 丁文蕴,宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 电子 射线 检测器 | ||
【主权项】：
一种电子射线检测器，其特征在于，具备：通过电子射线的入射而发出荧光的板状的闪烁器；以及具有比上述闪烁器的折射率小的折射率，并且对由上述闪烁器发出的荧光进行导光的光导件，上述闪烁器的端面的一部分由向外侧呈凸状的曲面形成，上述闪烁器经由上述凸状的曲面的端面与上述光导件接合，上述闪烁器端面之中除了与上述光导件接合的端面以外的端面，是平面或向上述闪烁器的内侧呈凹状的曲面。
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