[发明专利]用于制造严密密封的腔的设备和方法

摘要

一种设备，所述设备具有第一载体，所述第一载体用至少一种ALD前驱体和/或至少一种MLD前驱体占据；第二载体，所述第二载体用与所述第一载体的至少一种ALD前驱体和/或MLD前驱体互补的至少一种ALD前驱体和/或至少一种MLD前驱体占据。第一载体与第二载体至少部分地借助于第一载体的ALD前驱体和第二载体的ALD前驱体之间的或者第一载体的MLD前驱体或者第二载体的MLD前驱体之间的原子键合部来连接，使得形成ALD层或者MLD层。

主权项

一种具有严密密封的有机器件的设备，所述设备具有：●第一载体(102)，所述第一载体用至少一种ALD前驱体(302)和/或至少一种MLD前驱体(302)占据；并且●第二载体(104)，所述第二载体用与所述第一载体(102)的至少一种ALD前驱体(302)和/或MLD前驱体(302)互补的至少一种ALD前驱体(304)和/或至少一种MLD前驱体(304)占据，●其中所述第一载体(102)与所述第二载体(104)至少部分地借助于所述第一载体(102)的ALD前驱体(302)和所述第二载体(104)的ALD前驱体(304)之间的或者所述第一载体(102)的MLD前驱体(302)和所述第二载体(104)的MLD前驱体(304)之间的原子键合部(118)来连接，使得形成ALD层(118)或者MLD层(118)，●其中由所述第一载体的ALD前驱体和/或MLD前驱体与所述第二载体的ALD前驱体和/或MLD前驱体进行键合而构成的所述ALD层和/或MLD层将所述第一载体无间隙连续地与所述第二载体连接，使得所述ALD层和/或MLD层在所述第一载体和第二载体之间围住腔，和●其中在所述腔(100)中封装有机器件。