[发明专利]增强的气体流率控制的方法及设备有效
| 申请号： | 201380044160.X | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN104583658B | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 麻里乌斯·格雷戈尔;约翰·W·莱恩;迈克尔·罗伯特·赖斯;贾斯汀·霍夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于控制气体流动至半导体处理腔室的方法与设备。方法和设备包括：使流量比率控制器中的比率设定点反馈控制无效；启动气体流动经过所述流量比率控制器；当上游压力达到储存的上游压力值时，移动所述流量比率控制器的阀门至基于储存位置的预设位置，其中所述储存位置与所述储存的上游压力值于前期处理运行期间被储存；确定稳态流量比率控制器输出的流动已达到；及使所述流量比率控制器中的比率设定点反馈控制有效。公开了许多额外的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 气体 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种控制气体流动至半导体处理腔室的方法，所述方法包含以下步骤：使流量比率控制器中的比率设定点反馈控制无效；启动气体流动经过所述流量比率控制器；当上游压力达到储存的上游压力值时，移动所述流量比率控制器的阀门至基于储存位置的预设位置，其中所述储存位置与所述储存的上游压力值于满足稳态条件之后的所述流量比率控制器的所述比率设定点反馈控制的前期运行期间被储存；确定稳态流量比率控制器输出的流动已达到；及使所述流量比率控制器中的比率设定点反馈控制有效。
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