[发明专利]载置口及载置口的开闭方法有效
申请号: | 201380044309.4 | 申请日: | 2013-07-23 |
公开(公告)号: | CN104584202B | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 小合玄己;岛田裕之 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B65G1/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 庞乃媛,黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供具备扬尘少、并且开闭机构简单的挡板的载置口。载置口在输送装置或处理装置与作业者之间在洁净室内中继物品。载置口具备物品的载置台;输送装置或处理装置用来与上述载置台之间使物品通过的装置侧开口;面向作业者通道的通道侧开口;设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的挡板;使挡板绕规定的轴在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间摆动的摆动机构。 | ||
搜索关键词: | 载置口 开闭 方法 | ||
【主权项】:
一种载置口,在输送装置或处理装置与作业者之间、在洁净室内中继物品,其特征在于,具备:物品的载置台;输送装置或处理装置用来与上述载置台之间交接物品的装置侧开口;面向作业者通道的通道侧开口;设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的一对挡板;以及使上述一对挡板在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间摆动的摆动机构;上述摆动机构由以下部分构成:设置在相对于上述一对挡板对称位置上的驱动轴;一对挡板轴;通过驱动轴的转动使上述一对挡板轴朝相反方向并且仅以相同角度摆动的连杆机构;安装在上述一对挡板和上述一对挡板轴上、使上述一对挡板围绕上述一对挡板轴摆动的一对连结部件;上述一对挡板轴设置在相对于上述驱动轴对称并且互相离开的位置上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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