[发明专利]用于自动校正膜片架上的晶圆的旋转错位的系统和方法

摘要

自动地校正未适当地安装在膜片架上的晶圆的旋转错位包括在检查系统开始晶圆检查过程之前，使用图像捕获装置捕获晶圆的多个部分的图像；数字地确定晶圆相对于膜片架和/或图像捕获装置的视野的一组参考轴的旋转错位角度和旋转错位方向；以及借助于与检查系统分离的膜片架操持设备校正晶圆的旋转错位，所述晶圆操持设备被构造为在与旋转错位方向相反的方向上将膜片架旋转旋转错位角度。能够在没有减少膜片架操持吞吐量或检查处理吞吐量的情况下，在将膜片架放置在晶圆台上之前进行这样的膜片架旋转。

主权项

一种用于操持安装在膜片架上的晶圆的系统，所述系统包括：晶圆台，所述晶圆台提供被构造为在其上牢固地保持膜片架的晶圆台表面；晶圆检查系统，所述晶圆检查系统具有第一图像捕获装置，所述第一图像捕获装置被构造为对于安装在膜片架上并且由所述晶圆台表面保持的晶圆执行检查过程；第二图像捕获装置，所述第二图像捕获装置被构造为捕获安装在所述膜片架上的晶圆的多个部分的至少一个图像；处理单元，所述处理单元被构造为通过执行对所述至少一个图像执行图像处理操作的程序指令来分析安装在所述膜片架上的所述晶圆的多个部分的所述至少一个图像，以确定所述晶圆相对于所述膜片架或所述第一图像捕获装置或所述第二图像捕获装置的视野的旋转错位角度和旋转错位方向；以及膜片架操持设备，所述膜片架操持设备被构造为将其上安装所述晶圆的膜片架传输到所述晶圆台表面，其中，确定晶圆的旋转错位角度和旋转错位方向包括分析存在于晶圆上的多个第一和第二线性特征，第一和第二线性特征彼此垂直，其中，所述膜片架操持设备被进一步构造为旋转所述膜片架以校正所述晶圆相对于所述膜片架、所述第一图像捕获装置和/或所述第二图像捕获装置的任何旋转错位。