[发明专利]用于分离两个基板的设备有效

专利信息
申请号: 201380046479.6 申请日: 2013-09-03
公开(公告)号: CN104737281B 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 迪迪埃·朗德吕 申请(专利权)人: 索泰克公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 吕俊刚,刘久亮
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及用于在分离界面处分离由两个基板形成的结构的设备,该设备包括支持部(1);结构保持构件(2),其安装在支持部(1)上;工具(3),其用于分离两个基板,也安装在支持部(1)上,装置(4),其用于移动分离工具(3);和/或装置(5)其用于相对于支持部(1)移动保持构件(2)以使得分离工具(3)和保持构件(2)向彼此移动或远离彼此,优选的,分离工具(3)和保持构件(2)在有限的行进范围内移动。该设备的特征在于分离工具(3)包括前沿(30),该前沿(30)在横截面上从其梢部顶部或其前边缘(323)向后具有延伸到展开部(33)中的锥形部(32)。本发明适用于可以用于电子设备,光学设备,光电设备和/或光伏设备的基板。
搜索关键词: 用于 分离 两个 设备
【主权项】:
一种用于在“分离的”界面处分离两个基板的设备,这两个基板中的至少一个意在使用在电子设备、光学设备、光电设备和/或光伏设备中,这两个基板共同形成一种结构,该设备包括:‑固定器(1);‑保持构件(2,2'),该保持构件(2,2')用于保持所述结构,所述构件安装在所述固定器(1)上;‑分离工具(3,3',3″,3″'),该分离工具(3,3',3″,3″')用于分离所述两个基板,也安装在所述固定器(1)上;和‑第一装置(4)和/或第二装置(5),该第一装置(4)用于移动所述分离工具(3,3',3″,3″'),该第二装置(5)用于移动所述保持构件(2,2'),所述第一装置(4)和所述第二装置(5)使所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')能够相对于所述固定器(1)移动,以使所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')更加靠近在一起或移动所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')使其进一步远离彼此,所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')在有限的行进范围内移动,该用于在“分离的”所述界面处分离所述两个基板的设备的特征在于,所述分离工具(3,3',3″,3″')包括前沿(30,30',30″,30″'),该前沿(30,30',30″,30″')在横截面中连续从其梢部(320',320″)或其前边缘(323,303″)至其后部具有由展开部(33,33',33″,33″')延伸的锥形部(32,32',32″,32″'),其中,所述分离工具(3,3')的所述锥形部(32,32')具有等腰三角形横截面,所述锥形部的梢部处的角(α)小于30°,并且所述展开部(33,33')具有等腰梯形横截面,所述展开部的梢部处的角(β)大于30°,并且,所述分离工具(3,3',3″,3″')具有穿过其梢部(320',320″')或其前边缘(323,303″)的纵向的垂直对称面(P1,P2,P3,P4)。
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