[发明专利]流体喷射头的维护阀

摘要

公开了一种喷射芯片，包括基底、流动特征层、喷嘴板和一个或多个阀。基底包括一个或多个流体通道和一个或多个流体端口，每个流体端口与一个或多个流体通道中的至少一个连通。流动特征层被布置在基底上，且流动特征层包括一个或多个流动特征，每个流动特征与一个或多个流体端口中的至少一个连通。

主权项

一种喷射芯片，包括：基底，包括一个或多个流体通道和一个或多个流体端口，每个流体端口与所述一个或多个流体通道中的至少一个连通；流动特征层，布置在所述基底上，所述流动特征层包括一个或多个流动特征，每个流动特征与所述一个或多个流体端口中的至少一个连通；一个或多个流体腔；喷嘴层，布置在所述流动特征层上，所述喷嘴层包括一个或多个喷嘴，每个喷嘴与所述一个或多个流动特征中的至少一个连通，使得由所述一个或多个流体腔、所述一个或多个流体通道、所述一个或多个流体端口、所述一个或多个流动特征、和所述一个或多个喷嘴限定出一个或多个流体路径；一个或多个阀，包括柔性隔膜，所述柔性隔膜选择性地阻碍流体流经所述一个或多个流体路径；气动通道，所述气动通道被构造为沿所述一个或多个流体路径中的至少一个生成压差，使得所述柔性隔膜朝向较低压力的区域偏斜；以及隔离壁，其使所述一个或多个流体通道与所述一个或多个流体腔之间隔离；其中，所述流动特征层相对于所述基底分层，并引导经过所述喷射芯片的流体，所述阀在关闭状态下与所述隔离壁接触，在打开状态下远离所述隔离壁。