[发明专利]管状靶件有效
申请号: | 201380048331.6 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN104641449B | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 沃尔特·穆施勒希纳;安德烈·德龙豪弗;克里斯汀·林克 | 申请(专利权)人: | 普兰西欧洲股份公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34;C23C14/35 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 张天舒;张杰 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | 本发明是关于一种用于阴极雾化系统的靶件(2a),其具有由雾化材料制成的管状靶体(4a);及可紧固至该靶体(4a)的两个连接件(10a),其用于将该靶体(4a)连接至阴极雾化系统,其中第一连接件可连接至该靶体(4a)的第一末端,且第二连接件可连接至该靶体(4a)的第二末端,且其中至少一个锁定机构(12a‑d)是形成于各连接件(10a)上,以便将各别连接件(10a)以抵制旋转的固定方式连接至该靶体(4a)。 | ||
搜索关键词: | 靶体 连接件 阴极雾化 管状靶 可连接 第二连接件 第一连接件 雾化材料 靶件 紧固 锁定 抵制 | ||
【主权项】:
1.一种用于阴极雾化系统的靶件(2a,2b),其具有:由雾化材料制成的管状靶体(4a,4b);及可连接至该靶体(4a,4b)的两个连接件(10a,10b),用于将该靶体(4a,4b)连接至阴极雾化系统,其中第一连接件可连接至该靶体(4a,4b)的第一末端,且第二连接件可连接至该靶体(4a,4b)的第二末端,其特征在于:至少一个锁定机构(12a‑h)是形成于各连接件(10a,10b)上,以便将各相应连接件(10a,10b)以抵制旋转的固定方式连接至该靶体(4a,4b),其中所述锁定机构(12a‑h)是设计来接合于所述靶体(4a,4b)的端面,并且其中所述至少一个锁定机构(12a‑h)是与各相应连接件(10a,10b)形成为一件式。
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