[发明专利]半导体器件和电子电器有效
申请号: | 201380048774.5 | 申请日: | 2013-09-19 |
公开(公告)号: | CN104662662B | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 马场公一;久保寺隆;宫崎俊彦;安茂博章 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L27/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 曲莹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本技术涉及半导体器件和电子电器,其在改进由被堆叠半导体基板构造的器件的信号输出特性的同时能够维持微细晶体管的可靠性。本发明设置有第一半导体基板;第二半导体基板,所述第二半导体基板提供的功能不同于由所述第一半导体基板提供的功能;和扩散防止膜,所述扩散防止膜防止用于减少所述第一半导体基板与所述第二半导体基板之间的界面态的悬垂键终止原子的扩散,至少两个半导体基板被堆叠,所述半导体基板被电连接,所述第一半导体基板和所述第二半导体基板被堆叠成这样的状态所述扩散防止膜插入所述第一半导体基板的界面与所述第二半导体基板的界面之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 电子电器 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:第一半导体基板;第二半导体基板,所述第二半导体基板提供的功能不同于由所述第一半导体基板提供的功能;和扩散防止膜,所述扩散防止膜防止用于减少所述第一半导体基板和所述第二半导体基板的界面态的悬垂键终止原子的扩散,其中所述第一半导体基板的界面态低于所述第二半导体基板的界面态,至少两个半导体基板被堆叠,并且所述半导体基板被彼此电连接,并且所述第一半导体基板和所述第二半导体基板被堆叠成使所述扩散防止膜插入所述第一半导体基板的界面与所述第二半导体基板的界面之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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