[发明专利]宽离子束用的具多天线电感性耦合等离子体离子源有效
申请号: | 201380049073.3 | 申请日: | 2013-08-08 |
公开(公告)号: | CN104885186B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 科斯特尔·拜洛;约瑟·C·欧尔森;艾德沃·W·比尔;玛尼·斯尔达斯奇 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/317 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 马雯雯,臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种宽离子束源(10)包括多个射频窗(26,18,30),以预设关系布置;单一等离子体腔体(12),配置在多个射频窗的第一侧;多个射频天线(20,22,24),每一多个射频天线配置在各别的每一多个射频窗的第二侧,而且第二侧相对于第一侧;以及多个射频源(14,16,18),每一多个射频源耦接于各别的每一多个射频天线,其中藉由耦接于第一射频天线的第一射频源产生的第一射频信号及藉由耦接于与第一射频天线相邻的一射频天线的第二射频源产生的第二射频信号之间的频率差异大于10千赫兹。本发明提供的射频离子源,能促进多重、空间重叠等离子体的运转,以产生特别宽的离子束,且不需持续的监控与调整射频信号相位。 | ||
搜索关键词: | 离子束 天线 感性 耦合 等离子体 离子源 | ||
【主权项】:
一种宽离子束源,包括:多个射频窗,其以预设关系布置;单一等离子体腔体,配置在所述多个射频窗的第一侧;面板,密封所述单一等离子体腔体的相对所述多个射频窗的底端,所述面板具有提取开口,通过紧邻于所述面板的提取电极从所述单一等离子体腔体提取离子束;多个射频天线,每一所述多个射频天线配置在各别的每一所述多个射频窗的第二侧,且所述第二侧与所述第一侧相对;以及多个射频源,每一所述多个射频源耦接于各别的每一所述多个射频天线,其中藉由耦接于第一射频天线的第一射频源产生的第一射频信号及藉由耦接于与所述第一射频天线相邻的一射频天线的第二射频源产生的第二射频信号之间的频率差异大于10千赫兹。
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