[发明专利]微型器件稳定柱有效
| 申请号： | 201380049330.3 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN104661953A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 胡馨华;A·比布尔;J·A·希金森 | 申请（专利权）人： | 勒克斯维科技公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/04;B81C1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了用于稳定微型器件阵列的方法和结构。该微型器件阵列形成于由热固性材料形成的稳定柱阵列上。每个微型器件包括底表面，该底表面比该底表面正下方的对应稳定柱宽。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 器件 稳定 | ||
【主权项】：
一种结构，包括：包括稳定柱阵列的稳定层，其中所述稳定层由热固性材料形成；所述稳定柱阵列上的微型器件阵列；其中每个微型器件包括底表面，所述底表面比所述底表面正下方的对应稳定柱宽。
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