[发明专利]分析来自等离子体系统的RF信号

摘要

收集表示在频率范围内的来自等离子体系统的信号和噪声的样本。从样本识别对应于频率值F的第一复频域信号分量，在频率值F处发现局部最大信号。这个第一分量被相位调整可变角度θ至预定相位角并被存储。识别对应于表示F的第N级谐波的频率F(N)的更远复分量。这个更远分量被相位调整角度N×θ并被存储。重复上述过程以建立经过相位调整的第一和更远分量的组，在每个迭代中为所述第一分量选择θ以得到恒定的相位角并且在任何迭代中，用于所述第一分量的θ的值用于所述更远分量的调整。聚合的经过相位调整的分量展示增长的信噪比。

主权项

一种分析来自等离子体系统的RF信号的方法，其包括以下步骤：(a)从所述等离子体系统接收一个或多个信号通道，其中所述信号通道或每个信号通道包括表示在频率范围内的来自等离子体系统的信号和噪声的数据源；(b)在来自所述信号通道之一的第一RF信号样本中识别第一频率值F，在所述第一频率值F处发现频域中的局部最大值；(c)在所述第一RF信号样本中确定所述第一频率值F处的第一复频域分量；(d)在来自所述信号通道之一的所述第一RF信号样本或更远RF信号样本中识别更远频率值F(N)，其中N是表示所述第一频率值F的第N级谐波的整数，以及其中N＝1表示所述第一频率值F处的第一级谐波；(e)在所述第一RF信号样本或更远RF信号样本中确定所述更远频率值处的更远复频域分量，在所述第一RF信号样本或更远RF信号样本中识别所述更远频率值；(f)通过将所述第一复频域分量的相位调整角度θ至预定相位角而变换所述第一复频域分量，从而提供经过相位调整的第一复信号分量；(g)通过将所述更远复频域分量的相位调整等于N×θ的角度而变换所述更远复频域分量，从而提供经过相位调整的更远复信号分量；(h)关于来自所述等离子体系统的多个信号样本，迭代地重复步骤(b)至(g)，其中在每个迭代中选择θ的值以得到不同迭代中的所述经过相位调整的第一复信号分量的恒定相位角，以及其中在任何迭代中，在步骤(f)中选择的θ的值用于步骤(g)的调整；(i)聚合或平均在每个迭代中获取的所述经过相位调整的第一复信号分量；(j)聚合或平均在每个迭代中获取的所述经过相位调整的更远复信号分量。