[发明专利]带电粒子束装置、隔膜的位置调整方法以及隔膜位置调整工具

摘要

在进行大气压或与大气压大致同等压力的气体环境下的观察的带电粒子束装置中，将载置有试样的大气压空间与电子光学镜筒内部的真空空间隔离的隔膜由于使电子束透射因此非常薄，破损的可能性较高。更换隔膜时需要调整隔膜位置，在现有技术的方法中，无法容易地进行该隔膜位置的调整。在采用将真空环境与大气环境或气体环境分隔的薄膜的结构的带电粒子束装置中，具备：隔膜，其能够拆装，并以将载置有试样的空间的压力保持为比机箱内部的压力大的方式将载置有试样的空间隔离，并能够使一次带电粒子束透射或通过，以及可动部件，能够以保持载置有试样的空间的压力和机箱内部的压力的状态移动上述隔膜。

主权项

一种带电粒子束装置，其具备将一次带电粒子束照射在试样上的带电粒子光学镜筒和真空泵，上述带电粒子束装置的特征在于，具备：机箱，其成为上述带电粒子束装置的一部分且内部被上述真空泵真空排气；隔膜，其能够拆装，并以将载置有上述试样的空间的压力保持为比上述机箱内部的压力大的方式将载置有上述试样的空间隔离，且使上述一次带电粒子束透射或通过；试样载物台，其相对于上述隔膜设置在与上述带电粒子光学镜筒相反侧的空间；以及可动部件，其能够以保持载置有上述试样的空间的压力和上述机箱内部的压力的状态移动上述隔膜，上述可动部件具有第二接合部，该第二接合部与设置在对上述隔膜的位置进行调整的隔膜位置调整工具的第一接合部卡合。