[发明专利]用于结合材料的方法和系统

摘要

本发明提供了一种用于将填料材料结合到衬底材料上的方法。该方法包括在坩埚的熔化室中熔化填料材料，使得填料材料被熔化。坩埚具有流体地连接在熔化室上的出口。该方法还包括通过跨坩埚的出口施加第一压力差而将填料材料保持在坩埚的熔化室中，并通过跨坩埚的出口施加第二压力差而从坩埚的熔化室中释放出填料材料，以将填料材料传送至衬底材料的目标部位。第二压力差具有与第一压力差不同的值。

主权项

一种用于将填料材料结合到衬底材料上的方法，所述方法包括：在坩埚的熔化室中熔化所述填料材料，使得所述填料材料被熔化，所述坩埚具有流体地连接在所述熔化室上的包括喷嘴的出口系统，所述喷嘴包括入口部段、锥形部段和出口部段，所述入口部段具有第一长度并且流体地连接到所述坩埚中的开口上，所述锥形部段在所述入口部段后并具有第二长度，并且相对于所述坩埚的中心纵轴径向向内逐渐变细，所述出口部段具有在所述锥形部段后的第三长度；通过流量控制机构控制所述填料材料穿过所述熔化室的出口系统的流量，所述流量控制机构包括入口系统，所述入口系统分别操作地连接到第一非氧化性气体的第一源和第二非氧化性气体的第二源上，所述入口系统配置为在低于环境压力的第一压力下将所述第一非氧化性气体从所述第一源喷射到所述熔化室中，从而通过施加跨所述坩埚的出口系统的所述环境压力和所述第一压力之间的第一压力差而将所述填料材料保持在所述坩埚的熔化室中；和所述入口系统配置为在大于环境压力的第二压力下将所述第二非氧化性气体从所述第二源喷射到所述熔化室中，从而通过施加跨所述坩埚的出口系统的所述环境压力和所述第二压力之间的第二压力差而从所述坩埚的熔化室中释放所述填料材料，以将所述填料材料传送至所述衬底材料的目标部位，其中所述第二压力差具有与所述第一压力差不同的值。