[发明专利]用于快速热处理的最小接触边缘环

摘要

本公开内容的实施例大体涉及一种在工艺腔室中支撑基板的支撑环。在一个实施例中，支撑环包含内环；外环，所述外环通过平面部分连接至内环的外部周边；边缘唇，所述边缘唇从内环的内部周边径向向内延伸以形成支撑凸部；及基板支撑件，所述基板支撑件从边缘唇的顶表面向上延伸。基板支撑件可为绕边缘唇的圆周设置的连续环形体。基板支撑件从背侧绕基板的整个周边支撑基板而具有最小化的接触表面以将基板与边缘唇热切断。特定而言，基板支撑件提供与基板的背表面的实质线接触。

主权项

一种基板支撑环，所述支撑环包含：环形主体；边缘唇，所述边缘唇从所述环形主体的表面径向向内延伸，其中所述边缘唇具有沿所述基板支撑环的圆周变化的径向宽度；以及基板支撑件，所述基板支撑件从所述边缘唇的顶表面向上延伸，其中所述基板支撑件为沿所述边缘唇的圆周设置的连续环形体，并且所述基板支撑件包含基板接触表面，所述基板接触表面具有5μm至200μm的径向宽度。