[发明专利]紧凑、低色散以及低像差自适应光学扫描系统

摘要

一种自适应光学扫描系统，使用具有四个或多个运动轴的光束投影模块，其可以对达到自适应光学元件或来自自适应光学元件的光束的位置和角度进行投影和控制。所述自适应光学扫描系统尺寸紧凑，克服了基于传统透镜和反光镜的光瞳转送器设计所带来的挑战。所述自适应光学扫描系统具有很少或几乎没有色散，色差以及离轴像差的改善的光学性能。描述了用于校准和优化所述系统的系统和方法。描述了扫描和对接自适应光学元件的模块化的自适应光学单元。

主权项

1.一种自适应光学扫描系统，包含：用于产生光束的发射源(705)；一个或多个自适应光学元件(715)，所述自适应光学元件(715)影响光束的波前，影响光束的强度，或者影响所述波前和强度两者；样本传送光学器件(730)，所述样本传送光学器件(730)适当地调节所述光束并且将所述光束引导到所述样本(710)上；光束投影模块(720)，所述光束投影模块(720)利用与两个或两个以上反射镜相关联的四个或四个以上运动轴进行操作并且控制光束的角度和位置，以通过在所述自适应光学元件上或附近创建或调节光束枢轴点来对接所述自适应光学元件(715)，同时横跨所述样本(710)来扫描所述光束，其中所述四个或四个以上运动轴与光束扫描机制的轴相对应，并且其中所述光束投影模块创建光束枢轴点，其被用作所述光束转向机制和所述自适应光学元件之间的链路，而没有转送所述光束的波前和强度分布；控制器(725)，用于控制在所述光束投影模块(720)中的所述运动轴的运动轨迹；一个或多个检测器(735)，所述检测器(735)测量来自所述样本(710)的光。