[发明专利]无粒子的可转动靶材及其制造方法

摘要

描述了一种可转动溅镀靶材，可转动溅镀靶材被配置以绕着一轴转动，此轴定义一轴方向。可转动溅镀靶材包括形成靶材的至少第一靶材区段与第二靶材区段，其中第一靶材区段与第二靶材区段的数个相对侧表面中的至少一者被粗糙化，特别是被粗糙化为10μm?Rmax或以上的表面粗糙度，更特别是100μm?Rmax或以上的表面粗糙度。

主权项

一种可转动溅镀靶材，被配置以绕着一轴转动，该轴是定义一轴方向，该可转动溅镀靶材包括：形成靶材的至少第一靶材区段及第二靶材区段；其中该第一靶材区段具有第一径向外表面、第一径向内表面及两个第一相对侧表面，特别是两个第一相对圈形侧表面；其中该第二靶材区段具有第二径向外表面、第二径向内表面及两个第二相对侧表面，特别是两个第二相对圈形侧表面；其中该第一靶材区段的该两个第一相对侧表面中的至少一侧表面相邻于该第二靶材区段的该两个第二相对侧表面中的另一侧表面，该两个第一相对侧表面的该至少一侧表面具有为10μm?Rmax或以上的表面粗糙度，特别是100μm?Rmax或以上的表面粗糙度。