[发明专利]定位设备、控制设备和控制方法

摘要

本发明涉及具有非常稳定的温度、非常低的功耗和均匀的温度分布的例如用作晶片台的定位设备。长行程台（20）和短行程台（50）堆叠在彼此之上。为了发起长行程台（20）和短行程台（50）在期望移动方向（M1）上的移动，首先以预定时间间隔以及比长行程台（20）的静止状态中的铁磁中心行程元件（52）与两个致动器（30、40）中的最靠近的一个致动器之间的距离（d）更短的距离、在与期望移动方向（M1）相反的相反方向（M2）上移动长行程台（20）和/或首先在期望移动方向（M1）上移动短行程台（50）。随后，在期望移动方向（M1）上移动长行程台（20）。

主权项

一种定位设备（2），包括：‑ 包括一个或多个支撑元件（11、12、13）的支撑装置（10），‑ 长行程台（20），‑ 相对于所述长行程台（20）在移动方向（M）上可移动的短行程台（50），所述短行程台（50）包括由短行程支撑元件（12、13）支撑的短行程台载体元件（51），其中所述长行程台（20）和所述短行程台（50）中的一个承载以固定距离彼此相对布置的两个致动器（30、40），在两个致动器之间具有间隙，每个致动器（30、40）包括铁磁轭（31、41）和布置在所述轭（31、41）的磁通路径中的磁体（32、33、42、43），以及‑ 控制单元（60），被配置为用于通过首先移动所述长行程台（20）发起所述长行程台（20）和所述短行程台（50）在期望移动方向（M1）上的移动，所述定位设备的特征在于：所述长行程台（20）由长行程支撑元件（11）支撑并且相对于长行程支撑元件（11）在移动方向（M）上可移动，所述长行程台包括由长行程支撑元件（11）支撑的长行程台载体元件（21）；所述长行程台（20）和所述短行程台（50）中的另一个包括布置在所述致动器（30、40）之间的铁磁中心元件（52）；由包括在所述定位设备中的所述控制单元（60）发起的所述长行程台（20）的首先移动是在与所述期望移动方向（M1）相反的相反方向（M2）上并且/或者在所述期望移动方向（M1）上移动所述短行程台（50），所述移动持续预定时间间隔以及比所述长行程台（20）的静止状态中的所述铁磁中心元件（52）与最靠近的致动器（30、40）之间的距离（d）更短的距离，并且然后在所述期望移动方向（M1）上移动所述长行程台（20）。