[发明专利]压差传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及压差传感器(1)，包括测量膜(10)，该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间，并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接，以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27)，在过载的情况下，测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于，支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中，并且每个支撑位置的相应高度h是在基准平面中的支撑位置的基部的距离的函数。

主权项

一种压差传感器(1)，包括：测量膜(10)；第一平台(20)；和第二平台(20)，其中，所述测量膜(10)布置在所述第一平台(20)与所述第二平台(20)之间，其中，所述测量膜经第三绝缘层(26)与所述第一平台(20)和所述第二平台(20)压力紧密地连接，以便在所述平台与所述测量膜之间分别形成第一、第二压力室，其中，所述压差传感器进一步包括用于记录所述测量膜的压力依赖偏转的电换能器，其中，所述第一平台(20)和/或所述第二平台(20)具有多个支撑位置(27)，在单侧过载的情况下，所述测量膜(10)至少部分地抵靠所述多个支撑位置(27)定位，其中，所述多个支撑位置(27)中的每一个从所述第一平台和/或所述第二平台的表面段上升，并且具有相对于基准平面的位置依赖高度h，所述基准平面平行于由所述测量膜限定的平面延伸，其特征在于，所述多个支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在所述第三绝缘层(26)中，并且，支撑位置的具体高度h是距所述基准平面中的所述支撑位置的基部的距离的函数。