[发明专利]单晶三轴磁场传感器在审
| 申请号： | 201380052975.2 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN104755948A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡永耀;蒋乐越;P·扎夫兰斯基;Y·赵;S·顾 | 申请（专利权）人： | 美新公司 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王丽军 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶三轴 磁场 传感器 | ||
【主权项】：
一种磁力计，包括：基板，其具有第一表面；第一多个凸块，其设置在所述基板的第一表面上，每个凸块包括相对于所述基板的第一表面的第一和第二倾斜表面；第一惠斯通电桥电路，其横跨所述第一多个凸块的第一倾斜表面设置；和第二惠斯通电桥电路，其横跨所述第一多个凸块的第二倾斜表面设置，其中，所述第一多个凸块中的各凸块与相同的第一轴线对齐。
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