[发明专利]半导体装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201380054059.2 申请日: 2013-10-17
公开(公告)号: CN104718627A 公开(公告)日: 2015-06-17
发明(设计)人: 丸井俊治;林哲也;山上滋春;倪威;江森健太 申请(专利权)人: 日产自动车株式会社
主分类号: H01L29/861 分类号: H01L29/861;H01L29/06;H01L29/47;H01L29/868;H01L29/872
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 刘晓迪
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种半导体装置(100),具备:半导体基体(1);第一导电型的漂移区域(2),其在上部的一部分具有槽,配置在半导体基体(100)的第一主面上;第二导电型的电场缓和区域(4),其仅配置在槽底部中除了中央部以外的角部的周围;阳极电极(9),其埋入槽中;阴极电极(10),其配置在半导体基体(100)的与第一主面相对的第二主面上。
搜索关键词: 半导体 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:半导体基体;第一导电型的漂移区域,其在上部的一部分具有槽,配置在所述半导体基体的第一主面上;第二导电型的电场缓和区域,其仅配置在所述槽底部中除了中央部以外的角部的周围;阳极电极,其被埋入所述槽中;阴极电极,其配置在所述半导体基体的与所述第一主面相对的第二主面上。
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