[发明专利]抗蚀剂组合物

摘要

本发明的抗蚀剂组合物为包含抗蚀基材和溶剂的抗蚀剂组合物，该抗蚀基材含有特定的立体异构体，且前述特定的立体异构体占该抗蚀基材的比率为50～100质量％。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，其为包含抗蚀基材和溶剂的抗蚀剂组合物，该抗蚀基材含有下述式(1)所示的化合物，且下述式(1)所示的化合物占该抗蚀基材的比率为50～93.7质量％，式(1)中，R分别独立地为氢原子、取代或未取代的杂环基、卤素原子、取代或未取代的碳数1～20的直链状脂肪族烃基、取代或未取代的碳数3～20的支链状脂肪族烃基、取代或未取代的碳数3～20的环状脂肪族烃基、取代或未取代的碳数6～20的芳基、取代或未取代的碳数7～30的芳烷基、取代或未取代的碳数1～20的烷氧基、取代或未取代的碳数0～20的氨基、取代或未取代的碳数2～20的链烯基、取代或未取代的碳数1～20的酰基、取代或未取代的碳数2～20的烷氧基羰基、取代或未取代的碳数1～20的烷酰氧基、取代或未取代的碳数7～30的芳酰氧基、取代或未取代的碳数1～20的烷基甲硅烷基、或这些基团与二价基团键合而成的基团，所述二价基团为选自由取代或未取代的亚烷基、取代或未取代的亚芳基和醚基组成的组中的1个以上的基团，R’和X分别独立地为氢原子、羟基、氰基、硝基、取代或未取代的杂环基、卤素原子、取代或未取代的碳数1～20的直链状脂肪族烃基、取代或未取代的碳数3～20的支链状脂肪族烃基、取代或未取代的碳数3～20的环状脂肪族烃基、取代或未取代的碳数6～20的芳基、取代或未取代的碳数7～20的芳烷基、取代或未取代的碳数1～20的烷氧基、取代或未取代的碳数0～20的氨基、取代或未取代的碳数2～20的链烯基、取代或未取代的碳数1～20的酰基、取代或未取代的碳数2～20的烷氧基羰基、取代或未取代的碳数1～20的烷酰氧基、取代或未取代的碳数7～20的芳酰氧基、取代或未取代的碳数1～20的烷基甲硅烷基、或这些基团与二价基团键合而成的基团，所述二价基团为选自由取代或未取代的亚烷基、取代或未取代的亚芳基和醚基组成的组中的1个以上的基团，并且，在16元环的平面，相对于某1个R’的朝向的其他3个R’的朝向以顺时针的顺序依次为顺式‑顺式‑反式的朝向。