[发明专利]防侵蚀和沉积的阀设备和方法有效
| 申请号： | 201380055138.5 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN104736912A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | D·诺伊迈斯特;B·勒菲弗;K·格鲁;Y·顾 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | F16K41/10 | 分类号： | F16K41/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王丽军 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 阀中的围绕着波纹管的可扩张及可收缩的防护罩保护所述波纹管以免遭所述阀腔室中的侵蚀性气体及固体粒子损坏。在共同阀腔室中具有多个排出口及多个阀的歧管阀总成中，围绕该总成中的每一相应阀的每一相应波纹管的相应可扩张及可收缩的防护罩将每一个波纹管与所述共同阀腔室中的侵蚀性气体及固体粒子分离，而不管该总成中的这些阀中的一个或全部是打开还是关闭。 | ||
| 搜索关键词： | 侵蚀 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种类型的歧管阀总成，包括具有进入口和多个排出口的阀腔室，用于所述排出口中的每一个排出口的关闭构件和用于每一个关闭构件的各自的致动器，所述致动器使用于每一个排出口的关闭构件在打开位置和关闭位置之间移动，在所述打开位置，允许流经所述阀腔室的流体通过相应排出口流出所述阀腔室，在所述关闭位置，防止所述阀腔室中的流体通过相应排出口流出所述阀腔室，其中，所述歧管阀总成的特征在于：与所述致动器中的每一个致动器相关联的用于相应关闭构件的相应波纹管，用于使相应致动器以真空密闭方式与所述阀腔室隔离；和防止流经所述阀腔室的流体进入与用于相应关闭构件的相应致动器相关联的波纹管被定位的空间内的装置，无论所述相应关闭构件在打开位置还是关闭位置。
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