[发明专利]光吸收层系统、其生产及适用于其的溅射靶材在审
| 申请号： | 201380055571.9 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104919340A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 马丁·施洛特;阿尔伯特·卡斯特纳;马库斯·舒尔特海斯;詹斯·瓦格纳;扎比内·施奈德-贝茨;伯恩德·西斯泽卡;威尔玛·德瓦尔德 | 申请（专利权）人： | 贺利氏德国有限及两合公司;弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | G02B1/116 | 分类号： | G02B1/116;G02B5/22;G02B5/00;F24J2/46;F24J2/48;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;张杰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光吸收层系统，其包括至少两个层，其中一个层为由介电材料制成的面向观测者的抗反射层，且其中至少一个其他层为由具有亚化学计量氧含量的氧化物或氮氧化物制成的背对所述观测者的吸收层。所述层系统在380nm至780nm的波长范围内具有大体上小于20％的可视透射Tv、小于6％的可视反射Rv和超过10k Ohm的层电阻Rγ。 | ||
| 搜索关键词： | 光吸收 系统 生产 适用于 溅射 | ||
【主权项】：
一种光吸收层系统，其由至少两个层组成，其中一个层为抗反射层，其面向观测者且由介电材料制成，且至少一个其它层为背对所述观测者的吸收层，其由具有亚化学计量氧含量的氧化物或氮氧化物制成，其中在380nm与780nm的波长范围内，所述层系统大体上具有小于20％的可视透射Tv、小于6％的可视反射Rv和超过10k Ohm的层电阻Rγ。
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