[发明专利]紫外光产生用靶、电子束激发紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法有效
申请号: | 201380055584.6 | 申请日: | 2013-09-06 |
公开(公告)号: | CN104755584B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 本多庆范;武富浩幸;福世文嗣;河合浩司;高冈秀嗣;铃木孝 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | C09K11/00 | 分类号: | C09K11/00;C09K11/08;C09K11/80;H01J63/06 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦,黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种紫外光产生用靶,其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含为粉末状或粒状的添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石晶体。发光层的紫外发光峰值波长为300nm以下。 | ||
搜索关键词: | 紫外光 产生 电子束 激发 紫外 光源 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种紫外光产生用靶,其特征在于:具备:透射紫外光的基板;和设置在所述基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层,所述发光层包含含稀土类的铝石榴石晶体,该发光层的紫外发光峰值波长为300nm以下,所述含稀土类的铝石榴石晶体为粉末状或粒状、且添加有活化剂,所述含稀土类的铝石榴石晶体的表面被通过热处理而熔融且再固化后的结晶熔融层覆盖。
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