[发明专利]用于扫描探针显微镜的微型悬臂梁探针及其制造方法在审
| 申请号： | 201380055701.9 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104755942A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王卫杰;苏全民 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q70/10 | 分类号： | G01Q70/10;G01Q70/16 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 美国圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 悬臂梁探针是由多层结构形成的，多层结构包含上基底、下基底、内层、第一分离层和第二分离层，其中第一分离层位于上基底和内层之间，第二分离层位于下基底和内层之间，以及其中第一和第二分离层相对于第一和第二基底、内层有区别地可蚀刻。上基底是第一器件层，探针针尖从此处形成。内层是第二器件层，悬臂从此处形成。下基底是手柄层，手柄或基部从此处形成。任何一层的造型和蚀刻处理通过分离层与其他层隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 探针 显微镜 微型 悬臂梁 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种构造用于扫描探针显微镜(SPM)悬臂梁制造的多层结构的方法，其特征在于，所述方法包含：提供第一基底和第二基底；提供第一分离层和第二分离层，其中第一分离层和第一基底有区别地可蚀刻且第二分离层和第二基底有区别地可蚀刻；提供位于第一分离层和第二分离层之间的内层，其中内层相对于第一和第二分离层有区别地可蚀刻；组装多层结构，包括使内层位于第一分离层和第二分离层之间，以至于内层分别通过第一分离层和第二分离层与第一基底和第二基底分离。
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