[发明专利]检测样品表面的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于检测样品的装置和方法。装置包括用于产生初级带电粒子束(33)的发生器，以及具有光轴(38)的带电粒子光学系统。光学系统包括用于将全部初级束(33)聚焦成中间平面内的光斑的第一阵列的第一透镜系统(37，310)，以及用于将全部初级束(33)聚焦成样品表面(315)上的光斑的第二阵列的第二透镜系统(313，314)。装置包括位于中间平面内或者其附近的位置敏感背散射带电粒子探测器(311)。第二透镜系统包括对全部带电粒子束是公共的电磁的或者静电的透镜。优选地，第二透镜系统包括用于围绕光轴(38)旋转初级束(33)的阵列的磁透镜，用于在一个角度相对于第一阵列定位带电粒子光斑的第二阵列。

主权项

一种用于探测样品表面的装置，其中该装置包括用于产生初级带电粒子束的多束带电粒子发生器，以及具有光轴的带电粒子光学系统，其包括：第一透镜系统，用于将初级带电粒子束聚焦成中间平面中分离的光斑的第一阵列，以及第二透镜系统，用于将初级带电粒子束从中间平面导向至样品的表面，并且其包括电磁的或者静电的物镜，其至少对于初级带电粒子束来说是公共的，用于将全部初级带电粒子束聚焦成样品表面上单独的光斑的第二阵列，其中所述装置包括位于中间平面上或者其附近的位置敏感背散射带电粒子探测器，其中所述探测器包括一个或者多个通孔，用于使所述初级带电粒子束通过，并且其中所述第二透镜系统布置成将背散射带电粒子从样品表面上单独的光斑的第二阵列投射成所述探测器上的背散射带电粒子光斑的阵列。