[发明专利]迂回式红外传感器有效
| 申请号： | 201380056207.4 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104781641B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | F·普尔科利;G·亚马;A·费伊;G·奥布赖恩 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司;F·普尔科利;G·亚马;A·费伊;G·奥布赖恩 |
| 主分类号： | G01J5/04 | 分类号： | G01J5/04;G01J5/02;G01J5/06;G01J5/20;G01J5/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一个实施例中，MEMS传感器包括镜和与镜间隔开的吸收体，所述吸收体包括多个间隔开的导电臂，所述多个间隔开的导电臂跨越所述镜正上方的区域地限定蜿蜒路径。 | ||
| 搜索关键词： | 迂回 红外传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS传感器，其包括：镜；与所述镜间隔开的吸收体，所述吸收体包括多个间隔开的导电臂，所述多个间隔开的导电臂跨越所述镜正上方的区域地限定蜿蜒路径，使得当投影在由所述镜限定的平面上时，所述多个间隔开的导电臂中的至少两个通过吸收体中的位于所述镜的正上方的间隙彼此间隔开；和所述吸收体中的至少一个导电端部，所述至少一个导电端部与所述多个间隔开的导电臂中的第一导电臂和第二导电臂物理连接和电连通，并且所述至少一个导电端部如此构造，使得当投影在所述平面上时所述至少一个端部不限定任何90度角。
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