[发明专利]图像取得装置和图像取得方法

摘要

在图像取得装置(M)中，具备变更第1光路(L1)与第2光路(L2)的光路长度差的光路长度差变更机构。由第1摄像装置(18)进行的摄像的焦点位置根据由光路长度差变更机构变更的上述光路长度差而在试样(S)的深度方向上变化(移动)。因此，在光路长度差变更机构基于规定的目标焦点间隔变更上述光路长度差中，焦点控制机构控制由第1摄像装置(18)得到的摄像的焦点位置同时载台控制机构扫描载台(1)，并且第1摄像装置(18)取得第1图像，由此，能够容易取得与上述光路长度差的变更对应的试样(S)的深度方向上的多个第1图像构成的Z叠层图像。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于，具备：载台，其载置有试样；载台控制机构，其以规定的速度扫描所述载台；光源，其朝向所述试样照射光；导光光学系统，其包含将所述试样的光像向图像取得用的第1光路和焦点控制用的第2光路分支的光分支机构；第1摄像机构，其取得由向所述第1光路分支的第1光像得到的第1图像；第2摄像机构，其取得由向所述第2光路分支的第2光像得到的第2图像；焦点控制机构，其解析所述第2图像，并基于该解析结果控制由所述第1摄像机构进行的摄像的焦点位置；以及光路长度差变更机构，其基于规定的目标焦点间隔变更所述第1光路与所述第2光路的光路长度差，每当所述光路长度差变更机构变更所述光路长度差时，所述焦点控制机构控制所述焦点位置，同时所述载台控制机构扫描所述载台，并且所述第1摄像机构取得所述第1图像，由此取得由所述试样的深度方向上的多个所述第1图像构成的Z叠层图像。