[发明专利]图像取得装置和图像取得装置的聚焦方法

摘要

本发明提供的图像取得装置中，在扫描分割区域(40)时存储焦点位置的控制结果，并基于在扫描第n(n为1以上的整数)以前的分割区域时存储的控制结果来决定扫描第(n+1)分割区域(40)时的初始焦点位置。通过这样的方法，在该图像取得装置中，可以利用已经结束扫描的分割区域(40)的控制结果来大体求出接着扫描的分割区域(40)的初始焦点位置。由此，通过预聚焦的简易化，能够抑制摄像所需要的处理时间的增大。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于，具备：载台，其载置有试样；光源，其朝向所述试样照射光；导光光学系统，其包含将所述试样的光像向图像取得用的第1光路和焦点控制用的第2光路分支的光分支机构；第1摄像机构，其取得由向所述第1光路分支的第1光像得到的第1图像；第2摄像机构，其取得由向所述第2光路分支的第2光像得到的第2图像；扫描控制机构，其沿着预先确定的多个分割区域扫描由所述第1摄像机构和所述第2摄像机构进行的所述试样的摄像的位置；以及焦点控制机构，其解析所述第2图像，并基于解析所述第2图像而得到的解析结果控制由所述第1摄像机构进行的摄像的焦点位置，所述焦点控制机构在所述扫描控制机构扫描所述分割区域时存储所述焦点位置的控制结果，并基于在所述扫描控制机构扫描第n个以前已扫描的分割区域时存储的所述控制结果，来决定所述扫描控制机构扫描第n+1个被扫描的分割区域时的初始焦点位置，其中，n为1以上的整数。