[发明专利]用于在遮掩部分的同时热化学处理部件的方法及相应掩模有效

专利信息
申请号: 201380057897.5 申请日: 2013-10-31
公开(公告)号: CN104769148B 公开(公告)日: 2016-11-23
发明(设计)人: 伯纳德·德尔马斯;多米尼克·赫兹;让-保罗·勒布伦;伯纳德·里斯;劳伦特·波里尔 申请(专利权)人: 阿海珐核能公司
主分类号: C23C8/04 分类号: C23C8/04;C23C16/04
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 吕艳英;张颖玲
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 本方法包括以下步骤:提供掩模(45),该掩模(45)包括具有支座(57)的主体(47)、设置在所述支座(57)内的至少一个可变形的密封垫圈(49)和紧固衬套(51),所述主体具有腔室(53);将部件的第一部分(65)放置在所述腔室中,将所述部件的第二部分(67)设置在所述密封垫圈的通道(63)中,并且将所述部件的第三部分设置在所述掩模的外部;将所述紧固衬套移动至其紧固位置,从而使所述密封垫圈(49)变形并且抵靠所述部件的第二部分;以及对所述部件的第三部分施加热化学处理。
搜索关键词: 用于 遮掩 部分 同时 热化学 处理 部件 方法 相应
【主权项】:
一种用于热化学处理部件(29)的方法,所述方法包括以下步骤:提供掩模(45),所述掩模(45)包括具有支座(57)的主体(47)、设置在所述支座(57)内的至少一个可变形的密封垫圈(49)和紧固衬套(51),所述紧固衬套(51)能够相对于所述主体(47)在紧固位置和松动位置之间移动,在所述紧固位置,所述紧固衬套(51)挤压所述密封垫圈(49),所述主体(47)具有腔室(53),当所述紧固衬套(51)处于松动位置时,能够通过在所述密封垫圈(49)中所界定的通道(63)进入所述腔室(53);在所述紧固衬套(51)处于松动位置时,将所述部件(29)的第一部分(65)放置在所述腔室(53)中,将所述部件(29)的第二部分(67)设置在所述通道(63)中,以及将所述部件(29)的第三部分(69)设置在所述掩模(45)的外部;将所述紧固衬套(51)移动至紧固位置,从而使所述密封垫圈(49)变形并且抵靠所述部件(29)的所述第二部分(67);以及对所述部件(29)的所述第三部分(69)施加热化学处理。
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